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专利摘要显示，本发明公开了一种成膜装置，包含反应腔以及设置于反应腔内部的基座、支撑柱和工艺套件；其中，所述反应腔用于为晶圆处理提供密闭场所；所述支撑柱设置于所述基座下方，用于支撑基座；所述工艺套件环绕所述基座设置，用于配合所述基座或所述反应腔的侧腔壁，形成吹扫气体的通道；所述基座的上表面具有凸台，通过所述凸台承载晶圆，所述基座的边缘区开设贯穿基座上表面和下表面的通道，将吹扫气体引入到晶圆的边缘位置，对晶圆的边缘和背面进行吹扫，防止晶圆处理过程中的反应气体在晶圆的边缘和背面沉积。本发明提供的成膜装置避免了在基座内开设水平通孔，所述成膜装置制备更加简单、容易实现，且制作费用大大降低，具有良好的应用前景。

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据说古时候，漆水河从乾县流入武功县境内,过了游凤、苏坊后,是直往南过武功镇而汇入渭河的。

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